竞争格局——CR3超过90％
目前，全球光刻机市场的主要企业即ASML，尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家，从光刻机销售额来看，2019年三家企业的合计市场份额就占到了全球光刻机市场的90％以上。其中ASML由于其技术领先，垄断了第五代光刻机（EUV光刻机），独占75％的市场份额，Nikon与Canon分别占据13％和6％的市场份额。
细分格局——i－line光刻机出货最多
从细分市场来看，近年来，市场上销售的光刻机主要为EUV光刻机、ArF lm光刻机、ArF Dry光刻机、KrF光刻机和i－line光刻机。从2019年这五类光刻机的销量情况来看，i－line光刻机的销量最高，为116台。在这116台中，Canon公司贡献了一半以上。
从企业的角度来看，Canon主要的光刻机销售都集中在i－line光刻机这一类型；Nikon的光刻机销售则纵向跨度较大，在除EUV之外的类型均有涉及，其中以Arf和i－line的领域较为突出；ASML则在除i－line光刻机之外的领域均具有较强的统治力。
行业供给——销售量略有下降
从行业供给来看，2014－2018年，光刻机top3企业销售量呈现波动增长的态势。2019年，光刻机销售量有所下滑，仅为354台，较2018年下降了3．8％。2020年第一季度，全球光刻机top3企业销售量实现85台。
国产企业——行业正在加快研发进度
长期以来，我国的光刻技术落后于先进国家，成为我国工业现代化进程的一块短板。近年来，在国家政策的扶持以及一批龙头企业的带领下，我国光刻机技术也开始了飞速的发展，由长春光机所牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻（EUVL）关键技术研究”项目也顺利完成了验收前现场测试。
但我国企业在光刻机制造方面距离世界头部企业仍有一定的距离，光刻机行业研发进度仍待加快。
我国光刻机相关领先企业技术进展情况如下所示：
