预见2020:2020年中国离子注入机产业全景图

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企业分析——中美日三国领衔

全球离子注入机的领先企业主要分布在中国、美国和日本,其中,中国大陆拥有凯世通和中科信两家离子注入机行业的龙头企业,其中凯世通在光伏离子注入机方面遥遥领先。而美国则拥有近乎垄断IC离子注入机市场的应用材料,以及汉辰科技、Axcelis、intevac等企业。日本也拥有日新、日本真空、住友重工等离子注入机知名厂商。

图表9:离子注入机相关领先企业

但我国企业在IC离子注入机制造方面距离世界头部企业仍有一定的距离,离子注入机研发进度仍待加快。

我国离子注入机相关领先企业技术进展情况如下所示:

图表10: 我国刻蚀设备相关领先企业技术进展情况(单位:nm)


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