细分格局——以大束流离子注入机为主
目前，全球离子注入机仍以大束流离子注入机为主，据Gartner数据披露，大束流离子注入机占离子注入机市场总份额的61％，中低束流离子注入机和高能离子注入机分别占20％和18％。
竞争格局——应用材料垄断IC离子注入机
目前，全球离子注入机根据其下游应用不同，可以分为IC离子注入机和光伏离子注入机，IC离子注入机方面，美国的应用材料几乎垄断了市场，占据了70％左右的市场份额，其次为Axcelis（亚克士），占据了近20％的市场份额。
光伏离子注入机主要应用于太阳能电池制造，其生产厂商较少，主要为凯世通，intevac和日本真空。
市场规模——市场规模波动增长
从市场规模来看，2013－2019年，全球离子注入机市场呈现波动增长的态势，除2016年略有下降外，其他年份离子注入机市场规模均出现了一定幅度的增长。2019年，全球离子注入机市场规模实现18．0亿美元，较2018年增长17．65％。
