【聚焦】全球静电吸盘市场高度集中 中国市场刚起步

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巨大的下游市场配合积极的国家产业政策与活跃的社会资本,正在全方位、多角度地支持国内半导体行业发展,共同推动我国静电吸盘(ESC)等半导体配套设备国产化稳步进行,为中国静电吸盘(ESC)厂商的发展壮大创造了机遇。

静电吸盘又称静电卡盘(英文简称:ESC或E-Chuck)是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物的夹具,适用于真空及等离子体环境,主要作用是吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,还能够调节吸附物的温度。

静电吸盘相较于机械卡盘,减少了机械运动部件,颗粒污染降低,增大了晶片的有效面积;与真空吸盘比较,静电吸盘可用于低压强(真空)环境,适用于需要利用卡盘控制晶片温度的场合。鉴于以上优点,静电吸盘现已在半导体、平板显示、光学元件、太阳能光伏等领域中被广泛采用。

静电吸盘(ESC)行业的发展与半导体设备配套需求密切相关。近年来,随着国家加大半导体领域的投入,我国半导体设备采购额逐年增加,推动了包括静电吸盘(ESC)在内的核心部件的采购量增长。此外,随着中国大陆晶圆产能的建设和扩产,中国成为全球晶圆产能增长的重心,带动国产半导体设备的需求增长,为国产静电吸盘(ESC)的发展提供了良好的机遇。

根据新思界产业研究中心发布的《2020年全球及中国静电吸盘(ESC)产业深度研究报告》,2019年,全球地区静电吸盘(ESC)市场规模为34.13亿元,其中,北美地区静电吸盘(ESC)市场规模为12.78亿元,欧洲地区静电吸盘(ESC)市场规模为9.10亿元,中国静电吸盘(ESC)行业市场规模为2.56亿元。

全球静电吸盘市场具有高度垄断性,由日本和美国企业主导,美国企业主要有美国AMAT(应用材料)、美国LAM(泛林集团),日本企业主要有Shinko(新光电气)、TOTO、NTK CERATEC等。国际巨头长期控制着全球静电吸盘产品的供应链,市场集中度较高。

中国静电吸盘行业发展时间较短,目前正处于起步阶段,市场竞争力较弱。除了北京华卓精密科技股份有限公司、广东海拓创新精密设备科技有限公司已经实现商业化生产外,其他大部分企业,如北京软体机器人科技有限公司、浙江新纳陶瓷新材有限公司、中山市思考电子科技有限公司尚处于研发阶段,目前仅能进行静电吸盘的维修以及更换,在生产方面尚不成熟。

新思界行业研究员表示,中国拥有全球最大且增速最快的半导体消费市场。2019年,中国集成电路产业产值达7562亿元,比2018年增长15.77%。然而,我国国产设备及静电吸盘(ESC)等核心部件的国产化率仍较低,具有较强的替代需求。巨大的下游市场配合积极的国家产业政策与活跃的社会资本,正在全方位、多角度地支持国内半导体行业发展,共同推动我国静电吸盘(ESC)等半导体配套设备国产化稳步进行,为中国静电吸盘(ESC)厂商的发展壮大创造了机遇。

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