我们都知道，在工业生产过程中，因为物料的平衡、热储存、经济核算等方面的计算都需要质量流量计，而不是采用体积，那是因为在测量的时候经常需要将体积测量结果换算成质量流量而且因为密度随着温度与压力变化而变化，所以在测量流量体体积的时候需要同时测量流体密度和压力，然后求出质量流量。测量氢气自然也不例外。
对于测量氢气所使用的的质量流量传感器工采网推荐的美国Siargo 气体质量流量传感器 － FS4001可用于广泛的应用范围包括仪器（如气相色谱质谱法）、泄漏检测、过程控制、气体流量计量以及医疗应用。FS4001需要8 ～ 24 VDC电源提供一个模拟和／或数字用户接口。模拟输出是线性的从0．5到4．5 VDC从0到满刻度流量相应。数字输出是通过RS232传输。另一方面FS4001质量流量传感器包装盒是由化学惰性和热稳定的聚碳酸酯材料制成的，使用siargo专有的MEMS流量传感器与封装技术，压力等级较高是5BAR（73 PSI），得受益于siargo独特的MEMS芯片结构、特殊包装技术和坚固耐用的传感器外壳，以便达到适宜的灵敏度。
气体质量流量传感器－FS4001主要特性：
1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量
2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
3）在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高
4）传感器的零点稳定度高
5）全量程高稳定性
6）全量程高精确度和优良的重复性
7）低功耗
8）低压损
9）响应时间快
气体质量流量传感器－FS4001框图：
功能框图如下图所示。MEMS传感器芯片的传感器驱动电路供电和发送流量相关的电压转换器。微控制器处理英文字母表的第19个字母；
（放大、滤波等）将电压转换成流量。流量信号被发送通过模拟或模拟和数字格式（RS232）。
